北京一家半导体工厂里，一台ASML光刻机静静停放着，它的一个关键零件已经超期服役三个多月，生产出的合格产品率从98%掉到了82%。
2025年10月，美国国会一份报告直指ASML等企业在2024年向中国出售了价值380亿美元的半导体设备，声称这帮助了中国的军工产业。报告呼吁全面封锁深紫外光刻机对华出口，然而，这次ASML和它的荷兰供应商们没有乖乖就范。
与此同时，在太平洋另一端，一家名为Substrate的美国初创公司宣布，他们开发出了一种采用X射线光源的新型光刻技术，声称能挑战ASML在光刻领域的统治地位。
01 维修之争，光刻机巨头的两难
2025年3月，ASML宣布升级其在北京的维修中心，强调此举是为了“以更高效的方式为客户服务”。这不是新增设施，而是对现有维修中心的升级。
然而，这项正常的商业决策却遭遇了地缘政治的冲击波。
去年9月，荷兰政府在美国压力下出台新规，要求ASML必须获得许可，才能向中国客户提供光刻机的零件和软件更新服务。一夜之间，维修变成了政治问题。
中国市场对ASML来说举足轻重。2025年第三季度，ASML在中国市场的销售额占比高达42%，创下历史新高。但公司CEO傅恪礼预计，2026年这一比例将明显回落。
到2025年，中国大陆拥有超过1000台ASML设备，其中约三成可能因零件短缺而无法正常运行。
02 供应链反水，欧洲企业的抉择
美国国会的报告一出，ASML股价应声下跌4%。但这一次，情况有所不同。
ASML公开表态将继续按照本地法规向中国供货。公司高管彼得·温宁克明确表示：“公司会遵守荷兰法律，现合同照旧执行，不会因外部压力中断对华交付”。
不光是ASML，它的供应链也开始“反水”。德国蔡司在2025年的财报会上直接摊牌，表态会继续为ASML的深紫外系统供货，首要准则是遵守德国法律。
荷兰本土的中小企业更是在合规边缘玩起了花样。他们将物流路线改为先运往东南亚的中转仓库，更换包装后再发往中国，同时在合同里加入商业保密条款，不对外泄露交货细节。
一位荷兰供应商直言不讳：“丢了中国客户就得破产”。
03 技术突围，中国半导体的自救
ASML光刻机在中国的命运，已经成为全球化体系被撕裂的一个生动缩影。
面对维修困境，中国的工程师们被逼上了梁山。机器的维护危机，直接转化成了自主研发的紧迫命令。
到2025年9月，深紫外技术设备的本土备件国产化率已经达到了65%。在光刻机的前端研发方面，上海微电子装备等本土企业正在加速追赶DUV光刻机的研发。
2025年上半年，中国半导体设备进口额同比下降了28%，而国产半导体设备市场份额突破40%。
全球半导体设备市场格局正在重构，ASML的DUV光刻机在中国市场的占有率也从2022年的85%降至2025年的52%。
中芯国际的14纳米产能良率已突破90%，长江存储232层3D NAND实现量产，华为昇腾910B芯片性能对标英伟达H100。
04 稀土反制，博弈升级的筹码
2025年10月9日，中国商务部出台稀土出口审批新机制，规定含有中国稀土成分超过0.1%的磁体都需要经过审批。
这一举措直接命中了光刻机的命门。光刻机的光源、镜头、双工件台三大核心部件，尤其是高NA极紫外系统，严重依赖高纯度稀土。
荷兰企业急忙转向东南亚和日本寻找替代来源，但提取技术与中国存在明显差距，纯度更是无法相提并论。ASML虽然嘴上表示库存充足，但实际设备交付已经出现延迟。
10月13日，荷兰政府动用冷战时代的法律，接管了中资控股的安世半导体。作为回应，中国在第二天立即追加措施，禁止安世的中国子公司和分包商出口芯片。
这一下直接卡住了欧洲汽车产业的脖子，大众和宝马的芯片供应出现断档，交付周期被迫拉长一个月。
05 新兴挑战，光刻技术的变局
就在传统光刻巨头应对地缘政治风波之时，新的技术挑战已经悄然出现。
2025年10月底，一家名为Substrate的美国初创公司宣布开发出采用X射线光源的新型光刻技术。
该公司创始人詹姆斯·普劳德声称，他们的技术使用粒子加速器产生更短波长的X射线光，能够产生更窄、更精确的光束。
按照Substrate的说法，他们的系统能够制造2纳米工艺的芯片，并有望在2028年前开始大规模生产。
该公司计划建立配备自己光刻机的芯片制造厂网络，最终目标是挑战台积电在先进AI芯片生产中的地位。
不过，业内专家们持谨慎态度。他们指出，实现这种精度通常需要十年时间才能掌握，而且这只是漫长技术挑战链中的一环。
全球半导体战场上的硝烟从未如此浓烈。一边是ASML在政治与市场的夹缝中艰难求生，一边是中国半导体产业链在压力下的加速成长，还有新兴技术势力试图颠覆现有格局。
“需求引致创新”，中国拥有全球最大的单一需求市场和完善的产业链，当外部供应被切断，内部供给的井喷几乎成为必然。
回望那片停摆的光刻机，它的困境折射出全球半导体产业链的深刻裂痕。
